旋转喷淋清洗是浸入式清洗的一种变体。该系统普通包括自动配液系统、清洗腔体和废液回收系统。喷淋清洗在密闭的工作室内完成化学清洗、去离子水清洗、

旋转自旋枯燥等工序，减少了清洗过程中每一步人为要素的影响。在喷淋清洗中，由于旋转和喷淋的作用，硅片外表的溶液愈加平均，硅片外表的溶液总是新

颖的。经过工艺时间的设定，能够准确控制硅片的清洗和腐蚀效果，到达良好的分歧性。密闭的工作室内能够隔离化学溶液的挥发，减少溶液的损失，减少溶

液蒸汽对人体和环境的危害。该系统被贮存在不同的化学试剂中，并在运用时抵达喷嘴行进行混合，坚持其新颖，以更大限度地进步其在清洗过程中更快反响

时间的潜力。当氮气被运用时，液体经过一个小喷嘴放射到硅片外表构成一层细雾，以到达更好的清洗目的。该办法适用于去除氧化膜或有机物。由于化学物

质停留在硅片外表的时间较短，在一定时间内清洗反响是不好的。喷涂过程中化学试剂用量少，有利于本钱控制和环境维护。